C'est le pas de masque servant à graver la puce.
Le processeur lui-même contient un certain nombre de transistors, et avec ce pas de masque on peut avoir une idée de sa taille en fonction de leur nombre.
D'autre part, théoriquement, plus le pas de masque s'affine, moins la puce résultante consomme, après ça peut ne pas être vrai, localement ou globalement, parfois car quelque chose change radicalement entre un CPU et son successeur (Northwood -> Presk'hot par exemple).